Z축 검출기
고분해능 검출기(접촉식)를 표준 장착함
Z축의 최소 분해능 0.001㎛

X축 구동부
고정밀도 글래스 스케일이 내장되어 있어 이송 방향(X축)의 고정도를 실현한다.
SV-3000시리즈 구동부의 가이드에 세라믹스를 채용하여 내마모성이 뛰어나며, 장기간 안정적인 고정밀도 측정을 유지한다.
X축 분해능 0.05㎛
X측 구동부 운동의 진직도 정밀도(0.5+1.5L/1000)㎛

측정물의 크기, 평가방법, 예산등에 맞춘 최적의 시스템 구축
검출기는 측정력 4mN과 0.75mN의 2종류 중에서 선택가능
데이터 처리 장치는 터치 판넬 컨터롤러 [TCON]과 데스크탑 PC중 선택 가능
모델 5종류 중에서 선택가능

조도 측정기 전용 전장 타입 TCON
터치 판넬로 조작이 간편
12인치 컬러 액정 터치 판넬 채택
알기 쉬운 비주얼 아이콘으로 고기능성과 높은 조작성 실현

데스크탑 PC로 조도 해석
호평받고 있는 표면 조도해석 프로그램 SURFPAK-SV
프린터시 레이아웃을 원하는 대로 수정가능, 회사명 로고나 디지털 카메라의 화상 데이터 등도 첨부가능
미세 윤곽 프로그램 등의 옵션에 대응할 수 있는 높은 확장성 보유

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